Pt/Si界面反应与肖特基势垒形成的研究
| Data(s) |
1993
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|---|---|
| Resumo |
详细研究了Pt/Si和Pt硅化物/Si界面的反应性质、原子结构及杂质/缺陷分布，讨论了它们对肖特基势垒的形成、势垒特性和势垒高度的影响。 国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
丁孙安;许振嘉.Pt/Si界面反应与肖特基势垒形成的研究,红外与毫米波学报,1993,12(5):385 |
| Palavras-Chave | #半导体物理 |
| Tipo |
期刊论文 |
