单片集成式反应离子刻蚀沟槽耦合腔AlGaAs/GaAs激光器


Autoria(s): 张石桥; 谭叔明; 庄婉如; 杨培生; 陈季英
Data(s)

1993

Resumo

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太原工业大学;北方交通大学;中科院半导体所

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20043

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104659

Idioma(s)

中文

Fonte

张石桥;谭叔明;庄婉如;杨培生;陈季英.单片集成式反应离子刻蚀沟槽耦合腔AlGaAs/GaAs激光器,中国激光,1993,20(3):161

Palavras-Chave #半导体器件
Tipo

期刊论文