氢等离子体对（Pt及其硅化物）/Si界面的杂质/缺陷态和势垒的影响

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Autoria(s): 丁孙安; 许振嘉

Data(s)	1994
Identificador	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20031 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104653
Idioma(s)	中文
Fonte	丁孙安;许振嘉.氢等离子体对（Pt及其硅化物）/Si界面的杂质/缺陷态和势垒的影响,半导体学报,1994,15(6):367
Palavras-Chave	#半导体材料
Tipo	期刊论文