纳米硅薄膜界面结构的微观特征


Autoria(s): 何宇亮; 褚一鸣; 王中怀; 刘湘娜; 白春礼
Data(s)

1994

Resumo

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国家自然科学基金

北京航空航天大学非晶态物理研究室;中科院半导体所;中科院化学所;南京大学物理系

国家自然科学基金

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20027

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104651

Idioma(s)

中文

Fonte

何宇亮;褚一鸣;王中怀;刘湘娜;白春礼.纳米硅薄膜界面结构的微观特征,半导体学报,1994,15(1):71

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文