W/Si,WSi2/Si和W/TiN纳米多层膜的成膜特性和热稳定性
| Data(s) |
1994
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|---|---|
| Resumo |
国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
刘文汉;周凌云;伍历文;张裕恒;许振嘉.W/Si,WSi2/Si和W/TiN纳米多层膜的成膜特性和热稳定性,科学通报,1994,39(7):594 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
