用四极型SIMS对砷化镓中硅定量分析的研究
| Data(s) |
1994
|
|---|---|
| Resumo |
GaAs中Si的定量分析是典型的SIMS分析课题,有明确的应用背景。对影响SIMS定量分析的一些基本因素进行了实验研究,用O_2~+源和Cs~+源对均匀掺硅和离子注入硅GaAs样品进行了定量分析,考察了实验的稳定性。 国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
姜志雄;查良镇;陈新;陈春华;王佑祥.用四极型SIMS对砷化镓中硅定量分析的研究,清华大学学报. 自然科学版 ,1994,34(4):32 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
