碱金属Rb在InP（100）表面的催化氧化作用

用XPS和UPS研究了氧在Rb复盖的和清洁的InP(100)表面的吸附行为。实验结果表明,碱金属可以使衬底的氧化能力大大增加。在氧的暴露量低于1L时,氧主要吸附在碱金属原子之间的InP衬底上,且位于Rb原子层之下。当氧暴露量增加时,氧主要还是吸附在Rb覆盖层下面,这时衬底开始氧化。在清洁表面,氧主要吸附在In原子上,样品退火后,Rb部分脱附,同时,衬底的氧化物相(InPO_4)含量增加。

用XPS和UPS研究了氧在Rb复盖的和清洁的InP(100)表面的吸附行为。实验结果表明,碱金属可以使衬底的氧化能力大大增加。在氧的暴露量低于1L时,氧主要吸附在碱金属原子之间的InP衬底上,且位于Rb原子层之下。当氧暴露量增加时,氧主要还是吸附在Rb覆盖层下面,这时衬底开始氧化。在清洁表面,氧主要吸附在In原子上,样品退火后,Rb部分脱附,同时,衬底的氧化物相(InPO_4)含量增加。

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国家自然科学基金

中国科学技术大学;中科院半导体所

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