半导体材料与器体生产工艺尾气中砷、磷、硫的治理及检测
| Data(s) |
1995
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|---|---|
| Resumo |
研究了化合物半导体材料、器件生产工艺中排出的有毒物质砷、磷、硫及其化合物的治理方法。还研究了这些有毒物质的低温富集取样及快速、灵敏的分析监测方法,并与其它经典的方法作了对比。 研究了化合物半导体材料、器件生产工艺中排出的有毒物质砷、磷、硫及其化合物的治理方法。还研究了这些有毒物质的低温富集取样及快速、灵敏的分析监测方法,并与其它经典的方法作了对比。 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:14:21导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:14:21Z (GMT). No. of bitstreams: 1 6019.pdf: 384929 bytes, checksum: 0972d650cc6c4ec14a32128c1eed1c00 (MD5) Previous issue date: 1995 中科院半导体所 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
闻瑞梅;梁骏吾;邓礼生;彭永清.半导体材料与器体生产工艺尾气中砷、磷、硫的治理及检测,半导体学报,1995,16(3):188 |
| Palavras-Chave | #半导体化学 |
| Tipo |
期刊论文 |
