Si（0.5）Ge（0.5）合金的热氧化物的研究

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Autoria(s): 邢益荣; 崔玉德; 殷士端; 张敬平; 李侠; 朱沛然; 徐田冰

Data(s)	1995
Identificador	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19837 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104556
Idioma(s)	中文
Fonte	邢益荣;崔玉德;殷士端;张敬平;李侠;朱沛然;徐田冰.Si（0.5）Ge（0.5）合金的热氧化物的研究,半导体学报,1995,16(7):491
Palavras-Chave	#半导体化学
Tipo	期刊论文