AlGaAs/GaAs超晶格界面平整度的X射线双晶衍射研究


Autoria(s): 庄岩; 王玉田; 李建中
Data(s)

1995

Resumo

用X射线运动学的多层膜干涉理论,模拟计算了AlGaAs/GaAs超晶格X射线双晶衍射摇摆曲线.提出了一种具有整数分子层的界面过度层理论模型,并运用此理论研究了零级卫星峰的峰峰位的源移,过渡层对超晶格卫星峰强度的影响以及低级卫星峰的规律性消光规律.

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19799

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104537

Idioma(s)

中文

Fonte

庄岩;王玉田;李建中.AlGaAs/GaAs超晶格界面平整度的X射线双晶衍射研究,半导体学报,1995,16(5):334

Palavras-Chave #半导体物理
Tipo

期刊论文