用逐层淀积法制备a-Si:H薄膜
| Data(s) |
1995
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|---|---|
| Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:14:05导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:14:05Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5994.pdf: 197982 bytes, checksum: 21dd9e457c1223f4ae27924bd144cc0e (MD5) Previous issue date: 1995 国家自然科学基金 中科院半导体所 国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
潘广勤;廖显伯;王燕;刁宏伟;孔光临.用逐层淀积法制备a-Si:H薄膜,电子学报,1995,23(5):77 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
