HEMT材料的电子辐射效应

用能量为1～1．8MeV、注量为10~13～10~17／cm~2的电子, 对HEMT（高电子迁移率晶体管）材料进行辐照, 得到了材料结构中的二维电子气（2DEG）的电输运性质随辐照电子能量和注量的变化关系, 并进行了讨论。还将该结果与电子辐照P－HEMT和LT－HEMT材料的结果进行了比较, 对异质结界面的辐照效应进行了分析。