Ag/AuGeNi/n-GaSb欧姆接触的研究


Autoria(s): 钟兴儒; 刘爱民; 林兰英; 常秀兰; 陶琨; 陈顺英
Data(s)

1995

Resumo

研究了Ag/AuGeNi/n-GaSb在150℃─450℃下合金处理对欧姆接触的的影响,最佳合金温度为220℃,此时接触电阻率为6.7×10~(-4)Ωcm~2。用AES和XRD研究了金属半导体界面处的扩散及物相变化,并讨论了接触电阻率与微结构的关系。

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19751

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104513

Idioma(s)

中文

Fonte

钟兴儒;刘爱民;林兰英;常秀兰;陶琨;陈顺英.Ag/AuGeNi/n-GaSb欧姆接触的研究,太阳能学报,1995,16(4):384

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文