由选择腐蚀和选择氧化法相结合研制的GaAs/AlGaAs垂直腔面发射激光器


Autoria(s): 康学军; 林世鸣; 高俊华; 高洪海; 王启明; 王红杰; 王立轩; 张春晖
Data(s)

1996

Resumo

报道了由选择氧化和选择腐蚀法相结合研制的GaAs/AlGaAs垂直腔面发射半导体光器,DBR中的AlAs经选择氧化后形成的氧化层作为有源区的横向电流限制层,器件的最低阈值电流为3.8mA,输出功率大于1mW,发散角小于7.8°,高频测量脉冲上升沿达100ps,并制成了2×3列阵器件.

国家自然科学基金

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19665

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104470

Idioma(s)

中文

Fonte

康学军;林世鸣;高俊华;高洪海;王启明;王红杰;王立轩;张春晖.由选择腐蚀和选择氧化法相结合研制的GaAs/AlGaAs垂直腔面发射激光器,半导体学报,1996,17(11):873

Palavras-Chave #半导体器件
Tipo

期刊论文