MOCVD和GSMBE生长Ga(0.5)In(0.5)P 外延层中有序结构的研究


Autoria(s): 董建荣; 李晓兵; 孙殿照; 陆大成; 李建平; 孔梅影; 王占国
Data(s)

1996

Resumo

用MOCVD在(100)、GSMBE在(100)和(111)B GaAs上生长了GaInP外延层.PL测试表明,(100)衬底上GaIn PL 峰的能量比计算的带隙分别小43(GSMBE生长)和104meV(M(CVD生长).用Kurtz等人的模型对MOCVD和GSMBE生长的GaInP中有序度的不同进行了解释.并讨论了衬底晶向对GaInP中有序程度的影响.

用MOCVD在(100)、GSMBE在(100)和(111)B GaAs上生长了GaInP外延层.PL测试表明,(100)衬底上GaIn PL 峰的能量比计算的带隙分别小43(GSMBE生长)和104meV(M(CVD生长).用Kurtz等人的模型对MOCVD和GSMBE生长的GaInP中有序度的不同进行了解释.并讨论了衬底晶向对GaInP中有序程度的影响.

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中科院半导体所

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19647

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104461

Idioma(s)

中文

Fonte

董建荣;李晓兵;孙殿照;陆大成;李建平;孔梅影;王占国.MOCVD和GSMBE生长Ga(0.5)In(0.5)P 外延层中有序结构的研究,半导体学报,1996,17(9):641

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文