新型结构的1.3μm GexSi（1-x）/Si MQW 波导探测器的优化设计
| Data(s) |
1996
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| Resumo |
首次提出了一种新型的环形1.3μm Ge_xSi_(1-x)/Si波导探测器结构.器件的主体由3μm宽环形波导构成.器件的输入端是8μm宽的波导.这两部分通过劈形波导过渡连接.各部分经过优化设计,可以同时实现高的耦合效率和高内量子效率.对于器件的材料结构、电学和光学特性进行了仔细的分析与设计.结果表明,优化设计的器件其外量子效率可达28%,比已经报道的直波导探测器的外量子效率提高2～3倍.而上升下降时间仍然保持在110ps左右. 首次提出了一种新型的环形1.3μm Ge_xSi_(1-x)/Si波导探测器结构.器件的主体由3μm宽环形波导构成.器件的输入端是8μm宽的波导.这两部分通过劈形波导过渡连接.各部分经过优化设计,可以同时实现高的耦合效率和高内量子效率.对于器件的材料结构、电学和光学特性进行了仔细的分析与设计.结果表明,优化设计的器件其外量子效率可达28%,比已经报道的直波导探测器的外量子效率提高2～3倍.而上升下降时间仍然保持在110ps左右. 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:13:33导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:13:33Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5920.pdf: 431412 bytes, checksum: b0d6438e6d631a0bc3c66d732e3d3bbe (MD5) Previous issue date: 1996 国家自然科学基金,国家教委基金 中科院半导体所 国家自然科学基金,国家教委基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
刘育梁;杨沁清;王启明.新型结构的1.3μm GexSi（1-x）/Si MQW 波导探测器的优化设计,半导体学报,1996,17(9):667 |
| Palavras-Chave | #半导体器件 |
| Tipo |
期刊论文 |
