As+注入Si(1-x)Gex的快速退火行为
Data(s) |
1996
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Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:13:31导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:13:32Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5918.pdf: 233797 bytes, checksum: b76f8821d5092dd96dbd4cddcb3044db (MD5) Previous issue date: 1996 国家自然科学基金 中科院半导体所;中南民族学院电子工程系 国家自然科学基金 |
Identificador | |
Idioma(s) |
中文 |
Fonte |
邹吕凡;王占国;孙殿照;何沙;范缇文;刘学锋;张靖巍.As+注入Si(1-x)Gex的快速退火行为,半导体学报,1996,17(9):717 |
Palavras-Chave | #半导体材料 |
Tipo |
期刊论文 |