GeSi CVD系统的流体力学和表面反应动力学模型
| Data(s) |
1996
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|---|---|
| Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:13:28导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:13:28Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5907.pdf: 385229 bytes, checksum: 8bc0cbffcee40a5bde03b3d53590b537 (MD5) Previous issue date: 1996 中科院半导体所 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
金晓军;梁骏吾.GeSi CVD系统的流体力学和表面反应动力学模型,电子学报,1996,24(5):7 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
