X射线双晶衍射在分布布喇格反射镜研制中的应用
| Data(s) |
1996
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| Resumo |
利用X光双晶衍射的动力学理论对垂直腔面发射激光器(VCSEL)的分布布喇格反射镜(DBR)的特性曲线进行了模拟研究。从中得到DBR AlAs/Al_xGa_(1-x)As的厚度及组分x值,应用所得到的这些数值进行光学薄膜反射谱的模拟计算,并与实验所测得的DBR反射谱进行比较,得到了证实。应用这套方法指导VCSEL外延片的生长,获得了良好的结果。 利用X光双晶衍射的动力学理论对垂直腔面发射激光器(VCSEL)的分布布喇格反射镜(DBR)的特性曲线进行了模拟研究。从中得到DBR AlAs/Al_xGa_(1-x)As的厚度及组分x值,应用所得到的这些数值进行光学薄膜反射谱的模拟计算,并与实验所测得的DBR反射谱进行比较,得到了证实。应用这套方法指导VCSEL外延片的生长,获得了良好的结果。 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:13:16导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:13:16Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5878.pdf: 251070 bytes, checksum: 567501c4fd9b7f42b8a70281f9e4a366 (MD5) Previous issue date: 1996 国家自然科学基金 中科院半导体所 国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
林世鸣;高洪海;张春辉;吴荣汉;庄岩;王玉田.X射线双晶衍射在分布布喇格反射镜研制中的应用,半导体学报,1996,17(4):257 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
