纳米硅薄膜中的量子点特征


Autoria(s): 何宇亮; 余明斌; 吕燕伍; 戎霭伦; 刘剑; 徐士杰; 罗克俭; 奚中和
Data(s)

1996

Resumo

从电性和结构上论证了纳米硅薄膜中的细微晶粒(3~6nm)具有量子点(Q.D)特征.在其 电导曲线中呈现出随晶粒尺寸减小而增大的小尺寸效应.使用薄层(~20nm厚)纳米硅膜制成了隧道二极管,已在液氮温区(≈77K)在其I-V及σ-V曲线上呈现出Coulomb台阶.对实验结果做了初步分析讨论.

从电性和结构上论证了纳米硅薄膜中的细微晶粒(3~6nm)具有量子点(Q.D)特征.在其 电导曲线中呈现出随晶粒尺寸减小而增大的小尺寸效应.使用薄层(~20nm厚)纳米硅膜制成了隧道二极管,已在液氮温区(≈77K)在其I-V及σ-V曲线上呈现出Coulomb台阶.对实验结果做了初步分析讨论.

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国家自然科学基金,国家重点、开放实验室基金

北京航空航天大学非晶态物理与光信息研究室;中科院半导体所;北京大学无线电电子系

国家自然科学基金,国家重点、开放实验室基金

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19529

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104402

Idioma(s)

中文

Fonte

何宇亮;余明斌;吕燕伍;戎霭伦;刘剑;徐士杰;罗克俭;奚中和.纳米硅薄膜中的量子点特征,自然科学进展,1996,6(6):700

Palavras-Chave #半导体物理
Tipo

期刊论文