刻蚀腔InGaAsP/InP双异质结激光器的制作与特性


Autoria(s): 颜学进; 张权生; 石志文; 杜云; 祝亚芹; 罗丽萍; 朱家廉; 吴荣汉; 王启明
Data(s)

1997

Resumo

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国家自然科学基金,集成光电子学联合国家重点实验室基金

中科院半导体所

国家自然科学基金,集成光电子学联合国家重点实验室基金

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19501

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104388

Idioma(s)

中文

Fonte

颜学进;张权生;石志文;杜云;祝亚芹;罗丽萍;朱家廉;吴荣汉;王启明.刻蚀腔InGaAsP/InP双异质结激光器的制作与特性,半导体学报,1997,18(11):836

Palavras-Chave #半导体器件
Tipo

期刊论文