用于GaN生长的蓝宝石衬底化学抛光研究
| Data(s) |
1997
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|---|---|
| Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:12:58导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:12:58Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5838.pdf: 298195 bytes, checksum: 2f25d22ea9c7b0a12cd64be77c40e7e1 (MD5) Previous issue date: 1997 中科院半导体所 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
王晓晖;刘祥林;汪度;陆大成.用于GaN生长的蓝宝石衬底化学抛光研究,半导体学报,1997,18(11):867 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
