多元素测试仪测定二氧硅烷中的痕量磷
| Data(s) |
1997
|
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| Resumo |
二氯硅烷的沸点只有8.3℃,常温下呈气体状态,用常规的方法取样和检测难度很大.用高温富氢还原的方法,使二氯硅烷中的磷还原为PH_3,用气相色谱法测定.并在炉口设计了锥形惰性气氛保护炉口装置,有效的防止了氢爆.保证测试安全并能连续进样、操作简便、省时.同时利用NaOH富集,解决了主体干优杂质的问题.方法灵敏、可靠、简便、灵敏度由0.1μg/1提高到0.04μg/1. |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
闻瑞梅;周淑君;袁越;赵振环.多元素测试仪测定二氧硅烷中的痕量磷,半导体学报,1997,18(2):156 |
| Palavras-Chave | #半导体化学 |
| Tipo |
期刊论文 |
