用气相色谱法测定半导体工艺中固、液、气相砷、磷及化合物的新方法
| Data(s) |
1997
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| Resumo |
研究了一种快速、灵敏、可靠的高温氢还原-气相色谱分析方法,样品不需预处理,使气相色谱仪能直接测定固、液、气相样品中砷、磷及其化合物的含量.砷、磷的检测限分别为0.01mg/L和0.003mg/L.相对偏差分别为6.2％和8.6％,测定范围为10~(-5)～10~(-11),并与经典方法进行对比,结果一致. |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
闻瑞梅.用气相色谱法测定半导体工艺中固、液、气相砷、磷及化合物的新方法,半导体学报,1997,18(1):64 |
| Palavras-Chave | #半导体化学 |
| Tipo |
期刊论文 |
