分子束外延材料表面椭圆缺陷的研究进展


Autoria(s): 王红梅; 孔梅影
Data(s)

1997

Resumo

综述了分子束外延材料的表面缺陷的种类、特征、起因、消除方法等,介绍了可能导致椭圆缺陷产生的重要因素,如Ga小液滴、Ga的氧化物及衬底沾污等,并提出相应的改进措施。

综述了分子束外延材料的表面缺陷的种类、特征、起因、消除方法等,介绍了可能导致椭圆缺陷产生的重要因素,如Ga小液滴、Ga的氧化物及衬底沾污等,并提出相应的改进措施。

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中科院半导体所

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19405

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104340

Idioma(s)

中文

Fonte

王红梅;孔梅影.分子束外延材料表面椭圆缺陷的研究进展,材料研究学报,1997,11(4):337

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文