分子束外延材料表面椭圆缺陷的研究进展
Data(s) |
1997
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Resumo |
综述了分子束外延材料的表面缺陷的种类、特征、起因、消除方法等,介绍了可能导致椭圆缺陷产生的重要因素,如Ga小液滴、Ga的氧化物及衬底沾污等,并提出相应的改进措施。 综述了分子束外延材料的表面缺陷的种类、特征、起因、消除方法等,介绍了可能导致椭圆缺陷产生的重要因素,如Ga小液滴、Ga的氧化物及衬底沾污等,并提出相应的改进措施。 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:12:43导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:12:43Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5791.pdf: 656004 bytes, checksum: a12b3304dc9e75c6c1c23ff7a5081da0 (MD5) Previous issue date: 1997 中科院半导体所 |
Identificador | |
Idioma(s) |
中文 |
Fonte |
王红梅;孔梅影.分子束外延材料表面椭圆缺陷的研究进展,材料研究学报,1997,11(4):337 |
Palavras-Chave | #半导体材料 |
Tipo |
期刊论文 |