MBE生长温度对InGaAs/GaAs应变单量阱激光器性能的影响


Autoria(s): 曾一平; 孔梅影; 王晓亮; 朱世荣; 李灵霄; 李晋闽
Data(s)

1997

Resumo

采用分子束外延(MBE)技术,研制生长了InGaAs/GaAs应变单量子阱激光器材料,并研究了生长温度及界面停顿生长对激光器性能的影响。结果表明较高的InGaAs生长温度和尽可能短的生长停顿时间,将有利于降低激光器的闽值电流。所外延的激光器材料在250μm×500μm宽接触、脉冲工作方式下测量的闽电流匠典型值为160mA/CM~2。用湿法腐蚀制作的4μm条宽的脊型波导激光器,闽值电流为16nA,外微分量子效率为0.4mW/mA,激射波和工为976±2nm,线性输出功率为100mW。

采用分子束外延(MBE)技术,研制生长了InGaAs/GaAs应变单量子阱激光器材料,并研究了生长温度及界面停顿生长对激光器性能的影响。结果表明较高的InGaAs生长温度和尽可能短的生长停顿时间,将有利于降低激光器的闽值电流。所外延的激光器材料在250μm×500μm宽接触、脉冲工作方式下测量的闽电流匠典型值为160mA/CM~2。用湿法腐蚀制作的4μm条宽的脊型波导激光器,闽值电流为16nA,外微分量子效率为0.4mW/mA,激射波和工为976±2nm,线性输出功率为100mW。

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中科院半导体所

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19403

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104339

Idioma(s)

中文

Fonte

曾一平;孔梅影;王晓亮;朱世荣;李灵霄;李晋闽.MBE生长温度对InGaAs/GaAs应变单量阱激光器性能的影响,电子显微学报,1997,16(4):381

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文