MOVPE生长Ga（CH3）3—AsH3—H2体系中砷的形态转化及砷的治理

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Autoria(s): 闻瑞梅; 梁骏吾

Data(s)	1997
Identificador	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19391 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104333
Idioma(s)	中文
Fonte	闻瑞梅;梁骏吾.MOVPE生长Ga（CH3）3—AsH3—H2体系中砷的形态转化及砷的治理,电子学报,1997,25(2):76
Palavras-Chave	#半导体材料
Tipo	期刊论文