248nm KrF准分子激光零级抑制石英相位掩模器的研制
| Data(s) |
1997
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| Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:12:29导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:12:29Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5742.pdf: 184235 bytes, checksum: fc328fa8a5f8e420a4d5af6d294871d4 (MD5) Previous issue date: 1997 国家教委博士点基金,国家自然科学基金,国家863计划 北方交通大学光波技术所;中科院半导体所 国家教委博士点基金,国家自然科学基金,国家863计划 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
陈根祥;程美乔;葛璜;简水生;王圩.248nm KrF准分子激光零级抑制石英相位掩模器的研制,中国激光,1997,24(7):623 |
| Palavras-Chave | #半导体器件 |
| Tipo |
期刊论文 |
