γ-Al_2O_3/Si(100)薄膜高真空MOCVD异质外延生长
| Data(s) |
1998
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|---|---|
| Resumo |
国家计委八五计划,国家计委九五计划 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
昝育德;王俊;韩秀峰;王玉田;王维民;王占国;林兰英.γ-Al_2O_3/Si(100)薄膜高真空MOCVD异质外延生长,半导体学报,1998,19(12):886 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
