测试温度对nc-Si:H膜光致发光特性的影响


Autoria(s): 彭英才; 刘明; 何宇亮; 江兴流; 李国华; 韩和相
Data(s)

1998

Resumo

利用常规等离了体化学气相沉积(PECVD)工艺制备了nc-Si:H膜,并对其光致发光(PL)特性从10~250K温度范围内进行了变温测量。实验结果指出,随着测试温度升高,PL峰值能量发生了54meV的红移,PL强度在T>80K后呈指数下降趋势。PL峰值能量的红移起因于带隙的收缩,而PL强度的减弱则是由于非辐射复合起了主导作用。

利用常规等离了体化学气相沉积(PECVD)工艺制备了nc-Si:H膜,并对其光致发光(PL)特性从10~250K温度范围内进行了变温测量。实验结果指出,随着测试温度升高,PL峰值能量发生了54meV的红移,PL强度在T>80K后呈指数下降趋势。PL峰值能量的红移起因于带隙的收缩,而PL强度的减弱则是由于非辐射复合起了主导作用。

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河北省自然科学基金

河北大学电子与信息工程系;北京航空航天大学非晶态物理研究室;中科院半导体所

河北省自然科学基金

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19175

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104225

Idioma(s)

中文

Fonte

彭英才;刘明;何宇亮;江兴流;李国华;韩和相.测试温度对nc-Si:H膜光致发光特性的影响,发光学报,1998,19(1):56

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文