MOCVD方法制备的立方GaN/GaAs(001)中六角相含量退火行为的研究
Data(s) |
1999
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Resumo |
采用高温热退火的方法,在不同条件下对低压MOCVD在GaAs(001)衬底制备的立方GaN薄膜进行处理,利用光致发光光谱和Raman散射光谱来研究六角相的含量变化。报道了亚稳态立方GaN的六角相含量变化条件及其光学特征。在GaN/GaAs之间存在一个界面层,高温退火时,来自界面层的TO_B,LO_B声子的强度降低,而来自六角相的E_2声子增强,说明六角相含量增加。样品原结晶质量欠佳是六角相含量变化发生的主要原因。在较低的温度下,六角相含量没有明显变化,而且与退火时间无关。 国家863计划 |
Identificador | |
Idioma(s) |
中文 |
Fonte |
孙小玲;杨辉;王玉田;李国华;郑联喜;李建斌;徐大鹏;王占国.MOCVD方法制备的立方GaN/GaAs(001)中六角相含量退火行为的研究,中国科学. A辑,数学 ,1999,29(5):444 |
Palavras-Chave | #光电子学 |
Tipo |
期刊论文 |