MOCVD方法制备的立方GaN/GaAs(001)中六角相含量退火行为的研究


Autoria(s): 孙小玲; 杨辉; 王玉田; 李国华; 郑联喜; 李建斌; 徐大鹏; 王占国
Data(s)

1999

Resumo

采用高温热退火的方法,在不同条件下对低压MOCVD在GaAs(001)衬底制备的立方GaN薄膜进行处理,利用光致发光光谱和Raman散射光谱来研究六角相的含量变化。报道了亚稳态立方GaN的六角相含量变化条件及其光学特征。在GaN/GaAs之间存在一个界面层,高温退火时,来自界面层的TO_B,LO_B声子的强度降低,而来自六角相的E_2声子增强,说明六角相含量增加。样品原结晶质量欠佳是六角相含量变化发生的主要原因。在较低的温度下,六角相含量没有明显变化,而且与退火时间无关。

国家863计划

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19049

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104162

Idioma(s)

中文

Fonte

孙小玲;杨辉;王玉田;李国华;郑联喜;李建斌;徐大鹏;王占国.MOCVD方法制备的立方GaN/GaAs(001)中六角相含量退火行为的研究,中国科学. A辑,数学 ,1999,29(5):444

Palavras-Chave #光电子学
Tipo

期刊论文