Ti-AlN快速退火的界面
| Data(s) |
1996
|
|---|---|
| Resumo |
国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
王佑祥;陈新;陶琨.Ti-AlN快速退火的界面,清华大学学报. 自然科学版 ,1996,36(增刊):52 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
