SOI集成光电子器件
| Data(s) |
2001
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|---|---|
| Resumo |
Silicon-on-insulator (SOI)集成光电子器件的工艺与标准CMOS工艺完全兼容，采用SOI技术可以实现低成本的整片集成光电子回路。文章回顾了近几年来SOI集成光电子器件的发展以及一些最新的研究进展。 国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
魏红振;余金中;张小峰;刘忠立;史伟;房昌水.SOI集成光电子器件,半导体光电,2001,22(1):7 |
| Palavras-Chave | #半导体器件 |
| Tipo |
期刊论文 |
