硅片接触表面的弹性形变范围
| Data(s) |
2001
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|---|---|
| Resumo |
国家973计划,国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
韩伟华;余金中.硅片接触表面的弹性形变范围,半导体光电,2001,22(6):440 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
