新型隐埋Si/SiO_2做底镜的共振腔型探测器的理论分析
| Data(s) |
1999
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| Resumo |
提出一种新型隐埋Si/SiO_2 Bragg反射器结构的Si基共振腔型光电探测器，该结构具有与集成电路相兼容的特点。理论计算表明量子效率较普通光电探测器提高了3～4倍。 提出一种新型隐埋Si/SiO_2 Bragg反射器结构的Si基共振腔型光电探测器，该结构具有与集成电路相兼容的特点。理论计算表明量子效率较普通光电探测器提高了3～4倍。 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:11:11导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:11:11Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5501.pdf: 310744 bytes, checksum: 3ea832c818682f6af8208d914e382c89 (MD5) Previous issue date: 1999 国家863计划,国家自然科学基金 中科院半导体所 国家863计划,国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
李成;杨沁清;王启明.新型隐埋Si/SiO_2做底镜的共振腔型探测器的理论分析,半导体学报,1999,20(7):601 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
