Si（100）面上3C-SiC的生长

---

Autoria(s): 王引书; 李晋闽; 张方方; 林兰英

Data(s)	1999
Identificador	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18905 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104090
Idioma(s)	中文
Fonte	王引书;李晋闽;张方方;林兰英.Si（100）面上3C-SiC的生长,半导体学报,1999,20(7):630
Palavras-Chave	#半导体材料
Tipo	期刊论文