用Franz-Keldysh效应研究GaAs表面硫化学钝化
| Data(s) |
1999
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|---|---|
| Resumo |
硫钝化是一种比较有效的钝化GaAs表面的方法。使用Na_2S、S_2Cl_2和CH_3CSNH_2三种化学试剂对表面-本征层-重掺杂层(s-i-n~+)结构的GaAs样品进行了钝化，利用光调制反射谱观察到许多个Franz-Keldysh振荡，测量出本征层的电场强度，研究了GaAs表面硫钝化前后费米能级的变化，并且比较了各种钝化方法的钝化效果。 国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
廖友贵;金鹏;李乙钢;张存洲;潘士宏;梁基本.用Franz-Keldysh效应研究GaAs表面硫化学钝化,半导体学报,1999,20(11):1004 |
| Palavras-Chave | #半导体化学 |
| Tipo |
期刊论文 |
