生长温度对长波长InP/AlGaInAs/InP材料LP-MOCVD生长的影响


Autoria(s): 陈博; 王圩
Data(s)

1999

Resumo

研究不同生长温度下的InP/AlGaInAs/InP材料LP-MOCVD生长,用光致发光和X射线双晶衍射等测试手段分析了其材料特性,得到了室温脉冲激射1.3μm AlGaInAs有源区SCH-MQW结构材料,为器件制作研究打下了基础。

国家863计划,国家自然科学基金

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18851

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104063

Idioma(s)

中文

Fonte

陈博;王圩.生长温度对长波长InP/AlGaInAs/InP材料LP-MOCVD生长的影响,半导体学报,1999,20(12):1054

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文