用气态源分子束外延生长法制备Si/SiGe/Sinpn异质结双极晶体管
| Data(s) |
2000
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|---|---|
| Resumo |
国家九五计划 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
刘学锋;李晋闽;孔梅影;黄大定;李建平;林兰英.用气态源分子束外延生长法制备Si/SiGe/Sinpn异质结双极晶体管,半导体学报,2000,21(2):142 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
