基于神经网络方法的半导体生产工艺优化

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Autoria(s): 王向东; 陈咏梅; 王守觉; 石林初

Data(s)	2000
Identificador	http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18823 http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/104049
Idioma(s)	中文
Fonte	王向东;陈咏梅;王守觉;石林初.基于神经网络方法的半导体生产工艺优化,半导体学报,2000,21(2):192
Palavras-Chave	#人工智能
Tipo	期刊论文