用新型可交联极化聚合物材料制备的脊波导有机电光调制器（英文）
| Data(s) |
2001
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| Resumo |
制备了一种全部以聚合物为波导材料的电光调制器，其中芯层为新型可交联极化聚胺脂电光功能材料。旋涂制备波导薄膜、电晕极化产生非线性、光刻和氧反应离子刻蚀完成脊波导为主要的工艺步骤。1.3μm光源光纤耦合输入脊波导调制器，得到很好的输出端单模近场图及清晰的低频调制信号。 制备了一种全部以聚合物为波导材料的电光调制器，其中芯层为新型可交联极化聚胺脂电光功能材料。旋涂制备波导薄膜、电晕极化产生非线性、光刻和氧反应离子刻蚀完成脊波导为主要的工艺步骤。1.3μm光源光纤耦合输入脊波导调制器，得到很好的输出端单模近场图及清晰的低频调制信号。 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:10:35导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:10:35Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5408.pdf: 285282 bytes, checksum: e033d68cc17846cac55465593e6e01b2 (MD5) Previous issue date: 2001 国家863计划 中科院半导体所国家光电子工艺中心 国家863计划 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
杨晓红;杜云;殷爱民;石志文;吴荣汉.用新型可交联极化聚合物材料制备的脊波导有机电光调制器（英文）,半导体学报,2001,22(2):130 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
