低压金属有机化合物气相外延生长的 (Al_x Ga_(1-x))_(0 .5 1)In_(0 .49)P折射率测量(英文)


Autoria(s): 廉鹏; 马骁宇; 张广泽; 陈良惠
Data(s)

2001

Resumo

采用测量反射谱方法确定了低压金属有机化合物气相外延生长的GaAs衬底匹配(Al_xGa_(1-x))_(0.51)In_(0.49)P外延材料的折射率。实验中测量的反射谱波长范围为05-2.5μm。在拟合实验数据过程中采用了单振子模型。折射率数据用于分析应变量子阱GaInP/AlGaInP可见光激光二极管波导,计算出的器件远场图与实验数据吻合很好。

采用测量反射谱方法确定了低压金属有机化合物气相外延生长的GaAs衬底匹配(Al_xGa_(1-x))_(0.51)In_(0.49)P外延材料的折射率。实验中测量的反射谱波长范围为05-2.5μm。在拟合实验数据过程中采用了单振子模型。折射率数据用于分析应变量子阱GaInP/AlGaInP可见光激光二极管波导,计算出的器件远场图与实验数据吻合很好。

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北京工业大学电子工程学系;中科院半导体所

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18705

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103990

Idioma(s)

中文

Fonte

廉鹏;马骁宇;张广泽;陈良惠.低压金属有机化合物气相外延生长的 (Al_x Ga_(1-x))_(0 .5 1)In_(0 .49)P折射率测量(英文),半导体学报,2001,22(4):398

Palavras-Chave #光电子学
Tipo

期刊论文