N型6H-SiCMOS电容的电学特性


Autoria(s): 王姝睿; 刘忠立; 梁桂荣; 梁秀芹; 马红芝
Data(s)

2001

Resumo

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中科院半导体所

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18673

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103974

Idioma(s)

中文

Fonte

王姝睿;刘忠立;梁桂荣;梁秀芹;马红芝.N型6H-SiCMOS电容的电学特性,半导体学报,2001,22(6):755-759

Palavras-Chave #微电子学
Tipo

期刊论文