一种微机械光开关的分析和设计（英文）
| Data(s) |
2001
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|---|---|
| Resumo |
对悬臂梁微机械光开关的机电特性进行了理论分析。利用机械和电学特性，导出了悬臂梁的弯曲量和所加的电压的解析关系，并给出阈值电压的计算公式。指出外加电压与梁的宽度无关，与梁的长度的平方成反比。悬臂梁尖端的弯曲量不能超出相邻电极间距的1/3。这些结论是悬臂梁微机械光开关设计和研制的直接依据。 对悬臂梁微机械光开关的机电特性进行了理论分析。利用机械和电学特性，导出了悬臂梁的弯曲量和所加的电压的解析关系，并给出阈值电压的计算公式。指出外加电压与梁的宽度无关，与梁的长度的平方成反比。悬臂梁尖端的弯曲量不能超出相邻电极间距的1/3。这些结论是悬臂梁微机械光开关设计和研制的直接依据。 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:10:26导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:10:26Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5379.pdf: 209345 bytes, checksum: 8cd49ba4f3f0475d3266db376b3aa003 (MD5) Previous issue date: 2001 中科院半导体所 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
贾玉斌;陈良惠;李玉璋.一种微机械光开关的分析和设计（英文）,半导体学报,2001,22(7):837 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
