在蓝宝石衬底两个相反c面同时生长氮化镓薄膜的差异
| Data(s) |
2001
|
|---|---|
| Resumo |
运用金属有机气相外延设备，在蓝宝石衬底两相相反取向的c面上同时生长六方相氮化镓薄膜。对此进行了扫描电子显微镜、俄歇电子能谱、透射电子显微镜的分析和研究。发现这两个薄膜有许多不同之处。 运用金属有机气相外延设备，在蓝宝石衬底两相相反取向的c面上同时生长六方相氮化镓薄膜。对此进行了扫描电子显微镜、俄歇电子能谱、透射电子显微镜的分析和研究。发现这两个薄膜有许多不同之处。 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:10:23导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:10:23Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5369.pdf: 337478 bytes, checksum: 779d01acf89234d428a2d858c6eaac6a (MD5) Previous issue date: 2001 国家863计划,国家自然科学基金,国家973计划 中科院半导体所;中科院凝聚态物理中心;天津市半导体技术所 国家863计划,国家自然科学基金,国家973计划 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
韩培德;段晓峰;孙家龙;张泽;王占国.在蓝宝石衬底两个相反c面同时生长氮化镓薄膜的差异,半导体学报,2001,22(8):1030 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
