硅单晶生长中氩气流动对氧碳含量的影响
| Data(s) |
2001
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|---|---|
| Resumo |
河北省科技攻关项目,国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
任丙彦;张志成;刘彩池;郝秋燕;王猛.硅单晶生长中氩气流动对氧碳含量的影响,半导体学报,2001,22(11):1416 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
