高温热退火时异质结薄膜CeO_2/Si界面扩散-反应的机理研究
| Data(s) |
1999
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|---|---|
| Resumo |
国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
吴正龙;杨锡震;李强胜;黄大定.高温热退火时异质结薄膜CeO_2/Si界面扩散-反应的机理研究,北京师范大学学报. 自然科学版,1999(3,332(0): |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
