硼扩散引起薄SiO_2栅介质的性能退化
| Data(s) |
1999
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|---|---|
| Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:10:12导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:10:12Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5332.pdf: 146104 bytes, checksum: 86a99f1d65a9fbe38eb36917df6f6e75 (MD5) Previous issue date: 1999 国家自然科学基金 中科院半导体所 国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
高文钰;刘忠立;梁秀琴;于芳;聂纪平;李国花.硼扩散引起薄SiO_2栅介质的性能退化,电子学报,1999,27(8):144 |
| Palavras-Chave | #微电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
