非晶硅Pin二极管的1MeV电子幅照效应

报道a-Si:H本征膜及Pin二极管的1MeV1.4×10~(15),4.2×10~(15),8.4×10~(15)/cm~2电子幅照实验结果和退火行为。测量了电子辐照对a-Si:H光暗电导率和光致发光谱的影响，以及a-Si:H Pin二极管光伏特性和光谱响应随电子辐照剂量的变化。发现电子辐照在a-Si:H本征膜和二极管中引起严重的损伤，和二极管光谱响应的峰值“红移”。但未见饱和现象，还观测到明显的室温恢复现象；但高温退火处理后未能完全恢复。该文对以上实验结果给出了合理的解释。

报道a-Si:H本征膜及Pin二极管的1MeV1.4×10~(15),4.2×10~(15),8.4×10~(15)/cm~2电子幅照实验结果和退火行为。测量了电子辐照对a-Si:H光暗电导率和光致发光谱的影响，以及a-Si:H Pin二极管光伏特性和光谱响应随电子辐照剂量的变化。发现电子辐照在a-Si:H本征膜和二极管中引起严重的损伤，和二极管光谱响应的峰值“红移”。但未见饱和现象，还观测到明显的室温恢复现象；但高温退火处理后未能完全恢复。该文对以上实验结果给出了合理的解释。

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北京印刷学院基础部;中科院半导体所;四川大学物理系