微光电子集成灵巧象素器件
Data(s) |
2000
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Resumo |
采用MBE生长出大周期GaAs/AlGaAs多量子阱外延材料,研制了适用于倒装焊结构的自电光效应器件列阵,并与Si CMOS电路通过倒装焊工艺集成为微光电子集成灵巧象素器件。通过对光电特性测试表明,器件具有良好的光探测和光调制性能。 国家自然科学基金,国家863计划 |
Identificador | |
Idioma(s) |
中文 |
Fonte |
陈弘达;曾庆明;李献杰;陈志标;杜云;周革;华锋;黄永箴;吴荣汉.微光电子集成灵巧象素器件,光电子·激光,2000,11(2):111 |
Palavras-Chave | #光电子学 |
Tipo |
期刊论文 |